晶圆缺陷检测设备是提高半导体生产良率不可或缺的设备
日立高新技术今天宣布，它推出了DI4600，这是一种暗场晶圆缺陷检测系统，用于检测半导体生产线中图案化晶圆表面的异物和缺陷。
图案化晶圆检查设备是一种检查设备，通过检查半导体生产线上加工过程中晶圆上的异物和缺陷，以检测半导体制造设备状态的变化和趋势，为良率管理做出贡献的检查设备。 近年来，半导体工艺变得越来越小，越来越复杂，对制造工艺、检查项目和精度的要求也越来越复杂，特别是降低制造成本变得很重要。
DI4600 暗场晶圆缺陷检测系统的特点
通过增加专用服务器，提高检测异物和缺陷信息所需的光和信号等数据处理能力，该系统实现了更准确的检测，并且通过缩短晶圆转移时间、改善晶圆检测过程中的操作以及优化数据处理顺序，与以前的型号相比，吞吐量提高了约 20%。
由于使用这些功能可以对半导体生产线进行快速、高精度的状态管理，因此公司认为，使用该设备将有助于提高生产现场的良率和增强成本竞争力，并将继续响应客户半导体制造工艺的加工、测量和检查过程中的各种需求。
