荷兰半导体设备巨擘阿斯麦近日交付第三代EUV曝光机,此设备勇于生产尖端芯片,包括未来几年的3纳米、2纳米芯片。
科技媒体《Tom's Hardware》报导,ASML上周交付了第三代EUV曝光机,其投影镜头的数值孔径为 0.33. 与现有的 Twinscan NXE:3600D 机器相比,性能显着提高。
报导指出,Twinscan NXE:3800E专门为制造尖端芯片设计,包括未来几年的3纳米、2纳米及更小的节点。
ASML也在社交平台X发文称,芯片制造商需要速度,第一台现已安装在一家芯片厂中,此设备将为先进芯片技术提供领先的生产力,「我们正在将曝光技术推向新的极限」。
报道称,像NXE:3800E这样的设备成本高昂,每台要价约为1.8亿美元,如此高的成本意味着需要一段时间才能折旧。 然而,对于ASML的客户来说,NXE:3800E提供一条增强尖端芯片生产能力的途径,这对半导体公司来说至关重要。