台积电高层直指，预定2026年下半发布的次世代制程「A16」，或许不会使用荷兰半导体设备业龙头阿斯麦 最新型的设备，德国晶圆厂则将如期于今年下半举行破土仪式，ADR闻讯再创历史收盘新高。
路透社、Seeking Alpha报导，台积电业务开发资深副总裁张晓强 14日在阿姆斯特丹举行的一场会议上表示，A16不一定需用到ASML的新型High-NA EUV(高数值孔径极紫外光)微影设备。 他说，这要看公司能取得的最佳经济与技术平衡而定，A16厂或许会采用、但不确定。 「我喜欢这项技术、但不喜欢高昂的价格。」
High-NA EUV光刻设备可帮助将芯片设计缩小最多三分之二，但每台要价高达3.5亿欧元(3.78亿美元)，远高于一般EUV设备的2亿欧元。 台积电是ASML旗下EUV设备的最大客户。 台积电A16是接续预定2025年量产的2纳米。
另一方面，台积电欧洲子公司总经理Paul de Bot 14日则表示，位于德国德勒斯登的欧洲半导体制造公司将如期于今年动工、2027年投产。
去年8月，台积电宣布110亿美元德勒斯登厂的兴建计划，英飞凌、恩智浦半导体、罗伯特博世分别取得10%股权。
张晓强对记者说，他相信欧洲芯片法为该厂提供的补贴应能获得核准，欧盟、德国政府都强烈表示支持。 他说，德勒斯登厂会生产22奈米芯片，将最先进的微控制器供应大型汽车客户所需。 他并不排除台积电稍后在欧洲扩大投资，制造更先进的芯片，但这势必要等待数年。
台积电ADR 14日终场劲扬3.78%、收151.95美元，创历史收盘新高;年初迄今已大涨46.11%。
韩媒先前传出，英特尔已包下ASML新型High-NA EUV微影设备直到2025年上半为止的多数供应量。
不过，台积电A16让分析师开始质疑，英特尔能否真如2月宣称的那样，可用旗下「14A」制程取代台积电，打造全世界运算速度最快的晶片。 TechInsights副董事长Dan Hutcheson表示，英特尔的说法有争议，「在某些面向，我不认为他们已经领先对手。」
年初迄今，英特尔股价已重挫38.21%。
