据报导，尽管台积电与阿斯麦没有公布具体数据，不过科技媒体AnandTech与The Register的报道显示，2023年台积电拥有的极紫外光机机台占全球安置总数56%，从2020年的50%上升，反映台积电进一步扩大其在半导体的主导地位。
报导指出，每一台低数值孔径极紫外光机造价超过超过1亿美元，是史上最昂贵的半导体制造设备之一。 这引发一个关键问题：台积电究竟拥有多少部先进的EUV机台? 尤其考量到该晶圆代工巨擘对下一代高数值孔径(high-NA)EUV设备采取审慎态度之时。
台积电回应The Register相关询问说，台积电在考虑将high-NA EUV整合进量产制程之前，将仔细评估先进的晶体管结构、新工具等新技术创新，在成熟性、成本、对客户的潜在利益等方面的表现。
台积电声明强调，相较于2019年，在其运作中的EUV机台数量至2023年已增长10倍，占全球EUV装置量56%。
报导说，业界消息来源推估，2022年台积电采购84部EUV机台，2023年超过100部机台，因此台积电在2019年成功推出全球第一个EUV商用曝光制程产品时，可能拥有10部EUV机台，专门用于7纳米强校版(N7+)制程技术。
台积电的N7+是第一个采用EVU的制程技术，后续的N5、N3制程也采用EUV技术。 除此之外，三星电子的7LPP、5纳米与3纳米GAA制程也采用EUV技术，它同时也将EUV纳入其DRAM的生产。
