集微网消息，随着全球半导体设备行业竞相提高生产效率，将人工智能融入其流程已成为新常态。然而，韩国业界日益担忧的是，主要外国半导体设备巨头在关键人工智能专利方面占据主导地位，这对韩国国内企业的未来增长构成了潜在障碍。
韩国下一代智能半导体企业集团与韩国半导体与显示技术学会近日举办了题为“探讨通过人工智能提高半导体设备及核心零部件智能化和自主率的方法”的研讨会，活动期间发布了报告，揭示了全球半导体设备行业人工智能技术专利的现状。
调查显示，包括ASML、应用材料、泛林集团、东京电子和科磊在内的全球前十大设备企业总共申请了269项与半导体设备融入AI术相关的专利。KLA拥有83项专利，位居榜首;ASML拥有60项专利，日立高新技术拥有38项专利，应用材料拥有25项专利。
行业专家断言，将AI融入半导体设备已成为全球趋势和关键竞争因素。半导体公司利用AI来分析流程，防止晶圆浪费或缺陷并优化生产。NIS表示，在半导体工艺中引入AI可提高生产效率，节省约17%的成本。进一步扩展到研发、IC设计、工厂运营和营销可能会节省近40%的成本。
对此，国际设备制造商正在积极推出具有AI功能的半导体设备，结合传感器来收集数据，创造新的需求和附加值。AI技术的使用，特别是在检测领域，正变得越来越普遍。
相比之下，报告披露,韩国十大半导体设备制造商专利申请量滞后，总数仅为11件，占整体专利申请量的4%。值得注意的是，三星子公司Semes拥有7项专利，KCTech拥有3项专利，PSK拥有1项专利。
NIS指出，与2021年调查(3项专利)相比，韩国企业专利数量略有增加，但与外国竞争对手的差距继续扩大。韩国设备制造商对采用AI技术表现出兴趣，但由于数据安全等问题，在确保专业人才和获取AI应用的大量数据方面面临挑战。
业内人士强调，韩国AI专业人才的短缺以及制造过程中对大量数据的需求，使得AI实施面临挑战。KCTech执行董事Woo Sang-jeong表示，如果没有足够的数据，在设备行业实现AI几乎是不可能的，这强调了与半导体制造商合作的必要性。
