韩国媒体ET News 26日报导，韩国业界人士透露，SK海力士计划斥资2万亿韩元，购买8台阿斯卖极紫外光曝光机，作为推出新一代内存的一部分投资。
报导说，SK海力士2021年首度装置EUV，目前有5台EUV设备，今年若完成8台的装置，将具有13台先进的EUV曝光设备。 SK海力士今年计划投入5.3万亿韩元于半导体设备，EUV占近40%。
报导指出，新采购的EUV设备将用于先进制程的过渡，SK海力士正推动向第5代动态随机存取存储器的转换。 从第4代DRAM(1a)起，EUV便是不可或缺的设备。 去年5月，SK海力士完成DRAM最先进10纳米第5代(1b)制程的开发，该公司计划进一步扩大该制程的应用。
与此同时，SK海力士中国无锡厂的DRAM产量占整体40%，目前进行第4代DRAM产线的调整，由于美中冲突，无法将EUV输入中国，因此SK海力士决定今年开始将该厂生产的晶圆从中国空运回韩国，进行必要的EUV调整。
