原标题:国产首台精密掩膜版 FMM 工艺设备现已出货
1 月 7 日消息, 晶洲装备官方宣布,国产首台精密掩模版(Fine Metal Mask, 简称 FMM)INVAR 卷材工艺设备已于 1 月 6 日通过厂内验收,发运客户端即将投入生产。
这是晶洲装备自主研发生产的国内首台 INVAR 卷材工艺设备。该设备集成脱脂、酸洗、减薄、清洗等多种单元,具备将基材厚度管理至 20 μ m 以内水平,从而打破国外企业的垄断,解决我国 FMM 工艺装备 " 卡脖子 " 的问题。
IT 之家查询发现,FMM 是显示产业中的重要因素,是 OLED 蒸镀工艺中的核心零部件,其主要作用是生产过程中沉积 RGB 有机物质形成像素。鉴于蒸镀工艺中对 FMM 材料热膨胀性能的高要求,材质常用因瓦合金,简称为 INVAR。
据介绍,目前 FMM 供应一直被起步更早的日韩等海外制造商垄断,且 INVAR 原材料受限于原产地贸易协议,中国大陆的 FMM 制造企业很难获得 25 μ m 以下厚度基材,而高 PPI OLED 屏需要更精巧的孔,FMM 制造商需要获得更薄的 Invar 原材,Invar 原材已然成为我国 OLED 显示行业发展的限制因素。